STAGE – Optimisation des arrêts de plasma dans des équipements PECVD - F/H

Sur Crolles 300, nos nouvelles technologies sur plaques de 300 mm requièrent des conditions de process de plus en plus exigeantes. Lors du dépôt d'une couche mince de matériau diélectrique, les étapes transitoires d’allumage et d’extinction du plasma sont des étapes critiques pour la qualité de nos semi-conducteurs . Lors de l’extinction du plasma, une étape est souvent ajoutée pour stopper la Radio Fréquence de manière plus progressive. Cette étape, appellée “RF Purge” est très peu contrôlée et aujourd’hui, nous y constatons des anomalies (instabilité du plasma, génération de particules), que nous souhaitons supprimer afin d’améliorer encore la qualité de nos produits.

A propos de vos missions

Vous serez intégré.e à l’équipe process engineering « diélectrique », composée de 18 ingénieurs et techniciens, responsables de 300 chambres de process situés dans la salle blanche de Crolles 300. 

• Vous débuterez par un état des lieux de la purge RF sur l’ensemble de nos procédés de dépôts diélectriques,
• Puis en collaboration avec nos équipementiers, nos experts techniques et nos ingénieurs maintenance et process, vous définirez vos recommandations et les mettrez en application en proposant des plans d’expérience (DOE) sur nos process les plus critiques.
• Si les résultats sont concluants, vos recommandations pourront être déployées en production !

Pour vous accompagner, divers moyens de caractérisation seront à votre disposition via notre service de métrologie (XPS, ellipsométrie, etc.).

A propos de vous

• Vous êtes étudiant.e en Master 2 ou en dernière année d’école d’ingénieur généraliste, matériaux ou chimie,
• Vous avez de l’intérêt pour le monde de l’industrie et notamment pour la microélectronique,
• Vous aimez travailler en équipe et disposez d’un bon esprit de synthèse et d’autonomie.